Joints de traitement des semi-conducteurs

Contrôle de contamination éprouvé sur le terrain

La pureté est essentielle pour un rendement élevé des plaquettes, et les joints Kalrez® sont conçus avec des propriétés qui aident à réduire la contamination par les particules, le dégazage et les matières extractibles.

Les joints Kalrez® pour le traitement des semi-conducteurs ont fait leurs preuves sur le terrain dans la fabrication de puces semi-conductrices.

Ils peuvent aider à prolonger les intervalles de maintenance planifiés, et donc à réduire le coût de possession à long terme, dans une large gamme de processus de semi-conducteurs. Dans un certain nombre d’évaluations de clients de fabrication, les joints Kalrez® ont présenté une résistance mécanique améliorée, une génération de particules plus faible et une durée de vie plus longue que les perfluoroélastomères concurrents, dans les applications d’étanchéité statiques et dynamiques.

Améliorations des opérations

Les joints Kalrez® peuvent aider à améliorer la fabrication de semi-conducteurs dans une gamme d’opérations de fabrication de plaquettes, notamment:

• Déposition
• Graver
• Frêne / bande
• Thermique
• Humide

Meilleures performances pour Spansion

Spansion, le plus grand fournisseur de solutions de mémoire flash, s’est tourné vers DuPont pour des options de matériaux qui prolongeraient la durée de vie du joint avec une génération de particules réduite. Le nombre élevé de particules et les fuites dues à l’érosion du joint et à l’ensemble de compression ont causé des problèmes de joint dans plusieurs processus. Les pièces Kalrez® 9100 ont montré une érosion des joints beaucoup moins importante, une génération de particules réduite et de meilleures caractéristiques de récupération élastique. Voir l’étude de cas des joints toriques Spansion Semiconductor

Un leader éprouvé

Lorsque IMEC a testé les joints Kalrez® 9100 par rapport aux joints existants dans une vanne d’isolement et une position de buse supérieure, les joints 9100 ne semblaient pas endommagés et ne présentaient aucun signe de fissuration après 5000 cycles.

Ces résultats ont inspiré le centre de recherche international IMEC en Belgique à remplacer les joints en perfluoroélastomère sur toutes les positions par des joints Kalrez® 9100. Voir l’étude de cas IMEC

Dernière offre de produits ciblée pour la fabrication de semi-icônes

La dernière offre de perfluoroélastomère de DuPont, Kalrez® 9600 offre une durée de vie plus longue du joint en offrant des propriétés de performance améliorées dans un éventail d’applications de plasma haute température agressives et émergentes.

Kalrez® 9600 est un produit innovant pour l’industrie de la fabrication de semi-conducteurs et s’appuie sur les performances des leaders du marché, Kalrez® 9100 et Kalrez® 9500. Il offre une défectuosité moindre et une durée de vie plus longue du joint avec une meilleure fonctionnalité d’étanchéité à des températures plus élevées dans les processus plasma sous vide.

Les applications ciblées pour Kalrez® 9600 comprennent celles particulièrement adaptées aux applications de dépôt par plasma telles que le dépôt de couche atomique et le dépôt chimique en phase vapeur, ainsi que les procédés de gravure utilisés pour fabriquer des puces de nouvelle génération dans l’industrie des semi-conducteurs.

Caractéristiques

Résistance à la chaleur Kalrez®

Applications industrielles Kalrez®

Composés Kalrez® – 4079

Les pièces en perfluoroélastomère 4079 sont un produit noir à faible compression pour une utilisation dans de nombreux environnements de processus de semi-conducteurs secs et humides. Il possède une excellente résistance chimique, de bonnes propriétés mécaniques et une stabilité thermique exceptionnelle.

Composés Kalrez® – 6375

6375 est conçu pour offrir des performances exceptionnelles dans la gamme la plus large possible de produits chimiques et de températures. Ce produit est un excellent choix pour une utilisation dans les acides, les bases, les amines, la vapeur, l’oxyde d’éthylène et de nombreux autres produits chimiques agressifs.

Composés Kalrez® – 7075

7075 est conçu pour une utilisation générale en tant que joints toriques ou composants d’étanchéité personnalisés dans les industries de traitement chimique et d’hydrocarbures. Il s’agit d’un composé chargé de noir de carbone aux propriétés mécaniques conçu pour améliorer les performances d’étanchéité dans les applications de cyclage thermique. Le 7075 a une résistance thermique améliorée qui prolonge la température de service maximale à 327 ° C (620 F).

Composés Kalrez® – 0090

Les pièces en perfluoroélastomère 0090 offrent des solutions d’étanchéité durables et fiables pour les applications nécessitant d’excellentes propriétés de décompression rapide des gaz (RGD) ainsi que des propriétés de dureté et de module élevés. Certains domaines d’application comprennent les équipements de fond tels que les outils de forage et de complétion ainsi que les équipements industriels, y compris les pompes et les vannes.

Composés Kalrez® – 7375

Composés Kalrez® -6380

6380 est un produit non noir spécialement développé pour les procédés chimiques impliquant des amines chaudes et agressives. Il a également été utilisé avec succès dans des applications impliquant des produits chimiques hautement oxydants. De plus, il présente une excellente résistance chimique globale. Ce produit de couleur crème est facilement identifiable lors de la sélection d’un matériau de joint torique pour les services d’usines chimiques difficiles.

Composés Kalrez® -7090

7090 est un produit pour des utilisations nécessitant une dureté / un module plus élevé que les applications plus typiques. Les pièces en perfluoroélastomère Kalrez® 7090 sont bien adaptées aux applications statiques et dynamiques ainsi qu’aux applications d’étanchéité spécifiques nécessitant une résistance à l’extrusion à des températures élevées.

Composés Kalrez® -0040

0040 – est un produit noir spécialement conçu pour les environnements à basse température où une résistance chimique significative est requise. Les pièces en Kalrez® 0040 conservent leur élasticité et leur force d’étanchéité à des températures inaccessibles aux autres perfluoroélastomères.

Kalrez® est une marque déposée de E.I. du Pont de Nemours and Company ou ses filiales