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Turcon® Variseal® dans l’industrie des semi-conducteurs

Joints à printemps pour les environnements à vide élevé et corrosif

Provenés sur le terrain dans les situations de manutention des gaz et des liquides extrêmes, un certain nombre de variations de joints à printemps Turcon® Variseal® sont particulièrement adaptés aux applications d’étanchéité semi-conductrices les plus exigeantes, y compris des environnements à vide élevé et corrosif.

Ressources techniques

Turcon® Variseal® NW

Le boîtier Turcon® de ce joint de bride englobe le ressort énergisant de manière à ce qu’il ne puisse y avoir de contact possible entre la cavité à ressort ou à ressort et le milieu du système. Il est idéal pour les applications de semi-conducteurs où il peut fonctionner avec succès sous vide et est prouvé dans le gaz fluor.

Caractéristiques du joint Turcon® Variseal® NW:

Fonctionne à des températures extrêmes de -253 ° C / -423 ° F à +260 ° C / +500 ° F
Capacité de vide dans l’air à 10-9 mbar / L / s
Excellentes caractéristiques d’usure et de friction
Compatible avec pratiquement tous les milieux et gaz, y compris le gaz fluor à haute température
Disponible dans des tailles personnalisées et des dimensions standard avec une rénovation facile des joints élastomères NW Current

Turcon® Variseal® PS™

Ce joint haute performance a été conçu avec un corps d’étanchéité à base de Turcon® PTFE et englobe un ressort polymère. En utilisant la pression du média du système, il est conçu pour dynamiser le joint précisément à basse pression, tout en maintenant une intégrité d’étanchéité à haute pression. Le Turcon® Variseal® PS ™ a des impuretés de lixiviation ultra-low selon les semi-standard F57-0301 et le dépassement minimal, ce qui le rend idéal pour une utilisation dans le traitement humide des semi-conducteurs.

Caractéristiques du sceau Turcon® Variseal® PS ™:

Ultra-bas Lanach Out et pas de dégazage
Stabilité thermique de -253 ° C / -423 ° F à +80 ° C / +176 ° F
Sceau de vide 5,3 x 10-8 mbar / l / s-1 (4,7 x 10-8 psi / in3 / s-1) par mm de longueur de la circonférence du joint
Excellentes caractéristiques d’usure et de friction
Compatible avec pratiquement tous les produits chimiques
Disponible en conceptions de phoque standard et personnalisée

Turcon® Variseal® Ultra-Clean™

Ce sceau offre le summum de la propreté, ce qui le rend idéal pour une utilisation dans l’équipement de traitement où le maintien d’un système ultra-nettoyé est la priorité absolue. Dans la conception unique de Turcon® Variseal® Ultra-Clean ™, le ressort requis pour activer le joint est entièrement enfermé dans un boîtier Turcon®. Cela signifie que les extractibles métalliques sont totalement exclus, un facteur important dans la fabrication de semi-conducteurs où la contamination la plus inférieure peut détruire l’efficacité des plaquettes.

Caractéristiques du sceau Turcon® Variseal® Ultra-Clean ™:

Fonctionne à des températures extrêmes de -253 ° C / -423 ° F à +260 ° C / +500 ° F
Résiste à des pressions élevées supérieures à 100 bars / 1450 psi
Excellentes caractéristiques d’usure et de friction
Compatible avec pratiquement tous les médias
Convient aux situations de piston, de tige, de rotation de la face, alternative et statique
Rechange facile dans le joint torique AS568 standard et Groove variceal®